ГОСТ 54843-2011.  Изделия микросистемной техники. Элементы чувствительные микроэлектромеханических преобразователей физических величин. Общие технические условия

Настоящий стандарт распространяется на чувствительные элементы, разрабатываемые и поставляемые в качестве компонентов микроэлектромеханических преобразователей физических величин производственно-технического назначения. Настоящий стандарт не распространяется на чувствительные элементы, предназначенные для применения в пьезоэлектрических приборах.