ГОСТы. Общероссийский классификатор стандартов

ГОСТ 262398-84.  Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния

Настоящий стандарт устанавливает метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния в четыреххлористом кремнии ректификационно очищенном и в смесях четыреххлористого кремния с трихлорсиланом.

ГОСТ 26239.8-84, страница 1.
ГОСТ 26239.8-84, страница 2.
ГОСТ 26239.8-84, страница 3.
ГОСТ 26239.8-84, страница 4.
ГОСТ 26239.8-84, страница 5.
ГОСТ 26239.8-84, страница 6.
ГОСТ 26239.8-84, страница 7.
ГОСТ 26239.8-84, страница 8.
ГОСТ 26239.8-84, страница 9.
Общероссийский классификатор стандартов  >> Электротехника >> Полупроводниковые материалы