ГОСТы. Общероссийский классификатор стандартов

ГОСТ 52105-73.  Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции

Настоящий стандарт распространяется на лазерный эллипсометрический микроскоп ЛЭМ-2, предназначенный для определения эллипсометрических параметров поляризованного света, определяемых по углам поворота оптических элементов в момент погасания, что позволяет использовать прибор для измерения толщины и показателя преломления прозрачных диэлектрических покрытий на отражающих полированных поверхностях различных материалов и, в частности, на полупроводниковых пластинах, а также для контроля равномерности и однородности диэлектрических пленок по площади и определения наличия и толщины окисла в окнах, вытравленных в процессе изготовления полупроводниковых приборов.

ГОСТ 5.2105-73, страница 1.
ГОСТ 5.2105-73, страница 2.
ГОСТ 5.2105-73, страница 3.
ГОСТ 5.2105-73, страница 4.
ГОСТ 5.2105-73, страница 5.
ГОСТ 5.2105-73, страница 6.
ГОСТ 5.2105-73, страница 7.
ГОСТ 5.2105-73, страница 8.
ГОСТ 5.2105-73, страница 9.
ГОСТ 5.2105-73, страница 10.
ГОСТ 5.2105-73, страница 11.
ГОСТ 5.2105-73, страница 12.
ГОСТ 5.2105-73, страница 13.
Общероссийский классификатор стандартов  >> Электроника >> Оптоэлектроника. Лазерное оборудование