Электроника
Интегральные схемы. Микроэлектроника
54843-2011
: действующий
: 01.10.2014
: 01.09.2013
: 06.04.2015
: 06.04.2015
: 27.02.2015
: 01.01.1970
ZIP-
Настоящий стандарт распространяется на чувствительные элементы, разрабатываемые и поставляемые в качестве компонентов микроэлектромеханических преобразователей физических величин производственно-технического назначения. Настоящий стандарт не распространяется на чувствительные элементы, предназначенные для применения в пьезоэлектрических приборах.