ГОСТы. Общероссийский классификатор стандартов

ГОСТ 262396-84.  Кремний четыреххлористый. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана, тетрахлорида кремния, 1,3,3,3-тетрахлордисилоксана, 1,1,3,3-тетрахлордисилоксана, пентахлордисилоксана, гексахлордисилоксана, гексахлордисилана

Настоящий стандарт устанавливает хроматографический метод определения дихлорсилана, трихлорсилана, тетрахлорида кремния, 1,3,3,3-тетрахлордисилоксана, 1,1,3,3-тетрахлордисилоксана, пентахлордисилоксана, гексахлордисилоксана, гексахлордисилана в четыреххлористом кремнии.

ГОСТ 26239.6-84, страница 1.
ГОСТ 26239.6-84, страница 2.
ГОСТ 26239.6-84, страница 3.
ГОСТ 26239.6-84, страница 4.
ГОСТ 26239.6-84, страница 5.
ГОСТ 26239.6-84, страница 6.
ГОСТ 26239.6-84, страница 7.
ГОСТ 26239.6-84, страница 8.
ГОСТ 26239.6-84, страница 9.
Общероссийский классификатор стандартов  >> Электротехника >> Полупроводниковые материалы