.

Электротехника
Полупроводниковые материалы

262396-84


: действующий

21.01.1985
: 01.01.1986
: 06.04.2015
: 06.04.2015
: 16.01.2015
: 01.01.1970

:
№1 от 01.01.1991 (рег. 25.06.1990) «Срок действия продлен»

   262396-84 ZIP ZIP-


262396-84.  Кремний четыреххлористый. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана, тетрахлорида кремния, 1,3,3,3-тетрахлордисилоксана, 1,1,3,3-тетрахлордисилоксана, пентахлордисилоксана, гексахлордисилоксана, гексахлордисилана

Настоящий стандарт устанавливает хроматографический метод определения дихлорсилана, трихлорсилана, тетрахлорида кремния, 1,3,3,3-тетрахлордисилоксана, 1,1,3,3-тетрахлордисилоксана, пентахлордисилоксана, гексахлордисилоксана, гексахлордисилана в четыреххлористом кремнии.

ГОСТ 26239.6-84, 1.
ГОСТ 26239.6-84, 2.
ГОСТ 26239.6-84, 3.
ГОСТ 26239.6-84, 4.
ГОСТ 26239.6-84, 5.
ГОСТ 26239.6-84, 6.
ГОСТ 26239.6-84, 7.
ГОСТ 26239.6-84, 8.
ГОСТ 26239.6-84, 9.
  >> Электротехника >> Полупроводниковые материалы