Электротехника
Полупроводниковые материалы
262397-84
: действующий
: 21.01.1985
: 01.01.1986
: 06.04.2015
: 06.04.2015
: 16.01.2015
: 01.01.1970
:
№1 от 01.01.1991 (рег. 25.06.1990) «Срок действия продлен»
ZIP-
Настоящий стандарт устанавливает метод определения кислорода, углерода и азота в полупроводниковом кремнии с использованием активации ускоренными ионами и протонами.