.

Электротехника
Полупроводниковые материалы

262398-84


: действующий

21.01.1985
: 01.01.1986
: 06.04.2015
: 06.04.2015
: 16.01.2015
: 01.01.1970

:
№1 от 01.01.1991 (рег. 25.06.1990) «Срок действия продлен»

   262398-84 ZIP ZIP-


262398-84.  Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния

Настоящий стандарт устанавливает метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния в четыреххлористом кремнии ректификационно очищенном и в смесях четыреххлористого кремния с трихлорсиланом.

ГОСТ 26239.8-84, 1.
ГОСТ 26239.8-84, 2.
ГОСТ 26239.8-84, 3.
ГОСТ 26239.8-84, 4.
ГОСТ 26239.8-84, 5.
ГОСТ 26239.8-84, 6.
ГОСТ 26239.8-84, 7.
ГОСТ 26239.8-84, 8.
ГОСТ 26239.8-84, 9.
  >> Электротехника >> Полупроводниковые материалы