Электротехника
Полупроводниковые материалы
262392-84
: действующий
: 21.01.1985
: 01.01.1986
: 06.04.2015
: 06.04.2015
: 16.01.2015
: 01.01.1970
:
№1 от 01.01.1991 (рег. 25.06.1990) «Срок действия продлен»
ZIP-
Настоящий стандарт устанавливает химико-атомно-эмиссионный метод определения бора в полупроводниковом кремнии, в двуокиси кремния и кварце, в четыреххлористом кремнии и трихлорсилане и атомно-эмиссионный метод определения бора в техническом кремнии.