.

262393-84.  Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Методы определения фосфора

Настоящий стандарт устанавливает экстракционно-фотометрический метод определения фосфора в техническом кремнии, экстракционно-колориметрический метод определения фосфора в трихлорсилане и тетрахлориде кремния и двуокиси кремния (синтетическом кварце); нейтронно-активационный метод определения фосфора в полупроводниковом кремнии.

ГОСТ 26239.3-84,  1.
ГОСТ 26239.3-84,  2.
ГОСТ 26239.3-84,  3.
ГОСТ 26239.3-84,  4.
ГОСТ 26239.3-84,  5.
ГОСТ 26239.3-84,  6.
ГОСТ 26239.3-84,  7.
ГОСТ 26239.3-84,  8.
ГОСТ 26239.3-84,  9.
ГОСТ 26239.3-84,  10.
ГОСТ 26239.3-84,  11.
ГОСТ 26239.3-84,  12.
ГОСТ 26239.3-84,  13.
ГОСТ 26239.3-84,  14.
ГОСТ 26239.3-84,  15.
ГОСТ 26239.3-84,  16.
ГОСТ 26239.3-84,  17.
  >> Электротехника >> Полупроводниковые материалы