Электротехника
Полупроводниковые материалы
262390-84
: действующий
: 21.01.1985
: 01.01.1986
: 06.04.2015
: 06.04.2015
: 16.01.2015
: 01.01.1970
ZIP-
Настоящий стандарт устанавливает общие требования к методам анализа полупроводникового кремния, исходных продуктов для его получения ( технический кремний, четыреххлористый кремний, хлорсиланы, двуокись кремния) и кварца.