Химическая промышленность
Органические химические вещества
Органические химические вещества прочие
52250-2004
: действующий
: 02.07.2004
: 01.01.2005
: 06.04.2015
: 06.04.2015
: 16.01.2015
: 01.01.1970
ZIP-
Настоящий стандарт распространяется на резисты литографических процессов производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем.