.

25662-83.  Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные диффузионные. Методы испытаний

Настоящий стандарт распространяется на диффузионные вакуумные насосы с водяным охлаждением, применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, предназначенные для откачивания из герметичных объемов воздуха, газов и парогазовых смесей, предварительно очищенных от капельной влаги и механических загрязнений и неагрессивных к материалам конструкций.

ГОСТ 25662-83,  1.
ГОСТ 25662-83,  2.
ГОСТ 25662-83,  3.
ГОСТ 25662-83,  4.
ГОСТ 25662-83,  5.
ГОСТ 25662-83,  6.
ГОСТ 25662-83,  7.
ГОСТ 25662-83,  8.
ГОСТ 25662-83,  9.
ГОСТ 25662-83,  10.
  >> Гидравлические и пневматические системы и компоненты общего назначения >> Вакуумная технология