.

25663-83.  Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные механические. Методы испытаний

Настоящий стандарт распространяется на механические вакуумные насосы объемного действия, применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, работающие при выпускном давлении, равном атмосферному, и создающие на входе давление менее 1000 Па, и устанавливает методы измерения предельного остаточного давления и быстроты действия.

ГОСТ 25663-83,  1.
ГОСТ 25663-83,  2.
ГОСТ 25663-83,  3.
ГОСТ 25663-83,  4.
ГОСТ 25663-83,  5.
ГОСТ 25663-83,  6.
ГОСТ 25663-83,  7.
ГОСТ 25663-83,  8.
  >> Гидравлические и пневматические системы и компоненты общего назначения >> Вакуумная технология