.

25198-82.  Оборудование вакуумное. Соединения вакуумных трубопроводов. Установочные размеры

Настоящий стандарт распространяется на соединения вакуумных трубопроводов (колена, тройники, крестовины), применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, работающие в диапазоне давлений от 10 в ст. 5 до 10 в ст. минус 5 Па, и устанавливает присоединительные и установочные размеры соединений вакуумных трубопроводов с условными проходами от 10 до 650 мм ряда R5.

  >> Гидравлические и пневматические системы и компоненты общего назначения >> Вакуумная технология