.

25661-83.  Установки для финишной очистки воды. Общие технические требования

Настоящий стандарт распространяется на установки финишной очистки воды, предназначенные для деионизации воды с последующей стерилизацией и очисткой от микрочастиц и микроорганизмов непосредственно на месте использования при производстве изделий микроэлектроники 4 степени интеграции.

ГОСТ 25661-83,  1.
ГОСТ 25661-83,  2.
  >> Охрана окружающей среды, защита человека от воздействия окружающей среды. Безопасность >> Качество воды >> Сточные воды