Метрология и измерения. Физические явления
Метрология и измерения в целом
8627-2007
: действующий
: 24.04.2007
: 30.06.2007
: 06.04.2015
: 06.04.2015
: 16.01.2015
: 01.01.1970
ZIP-
Настоящий стандарт распространяется на методику выполнения измерений коэффициентов зеркального и диффузного отражения в диапазоне вакуумного ультрафиолетового излучения, используемых для определения оптических констант материалов и тонких пленок, коэффициентов отражения зеркал и эффективности дифракционных решеток, а также при контроле технологических процессов в микроэлектронике.