.

8627-2007.  Государственная система обеспечения единства измерений. Измерение коэффициентов зеркального и диффузного отражения в диапазоне вакуумного ультрафиолетового излучения. Методика выполнения измерений

Настоящий стандарт распространяется на методику выполнения измерений коэффициентов зеркального и диффузного отражения в диапазоне вакуумного ультрафиолетового излучения, используемых для определения оптических констант материалов и тонких пленок, коэффициентов отражения зеркал и эффективности дифракционных решеток, а также при контроле технологических процессов в микроэлектронике.

ГОСТ Р 8.627-2007,  1.
ГОСТ Р 8.627-2007,  2.
ГОСТ Р 8.627-2007,  3.
ГОСТ Р 8.627-2007,  4.
ГОСТ Р 8.627-2007,  5.
ГОСТ Р 8.627-2007,  6.
ГОСТ Р 8.627-2007,  7.
ГОСТ Р 8.627-2007,  8.
  >> Метрология и измерения. Физические явления >> Метрология и измерения в целом