.

Метрология и измерения. Физические явления
Метрология и измерения в целом

8640-2008


: действующий

15.05.2008
: 01.01.2009
: 06.04.2015
: 06.04.2015
: 16.01.2015
: 01.01.1970
   8640-2008 ZIP ZIP-


8640-2008.  Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки

Настоящий стандарт распространяется на средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения - радиометры ультрафиолетового излучения, используемые в фотолитографии, и устанавливает методику их первичной и периодической поверок.

ГОСТ Р 8.640-2008, 1.
ГОСТ Р 8.640-2008, 2.
ГОСТ Р 8.640-2008, 3.
ГОСТ Р 8.640-2008, 4.
ГОСТ Р 8.640-2008, 5.
ГОСТ Р 8.640-2008, 6.
ГОСТ Р 8.640-2008, 7.
ГОСТ Р 8.640-2008, 8.
ГОСТ Р 8.640-2008, 9.
ГОСТ Р 8.640-2008, 10.
ГОСТ Р 8.640-2008, 11.
ГОСТ Р 8.640-2008, 12.
ГОСТ Р 8.640-2008, 13.
ГОСТ Р 8.640-2008, 14.
ГОСТ Р 8.640-2008, 15.
  >> Метрология и измерения. Физические явления >> Метрология и измерения в целом