ГОСТ 8643-2008.  Р“осударственная система обеспечения единства измерений. Рефлектометры экстремального ультрафиолетового излучения РІ диапазоне длин волн 10 - 30 РЅРј. Методика поверки

Настоящий стандарт распространяется на средства измерений коэффициентов зеркального и диффузного отражений в диапазоне экстремального ультрафиолетового (ЭУФ) излучения - ЭУФ-рефлектометры, используемые в диапазоне измеряемых значений коэффициентов зеркального и диффузного отражений от 0,01 до 0,7 в диапазоне длин волн 10 - 30 нм, и устанавливает методику их поверки.