Метрология и измерения. Физические явления
Линейные и угловые измерения
Линейные и угловые измерения в целом
8635-2007
: действующий
: 16.01.2008
: 31.07.2008
: 06.04.2015
: 06.04.2015
: 16.01.2015
: 01.01.1970
ZIP-
Настоящий стандарт распространяется на сканирующие зондовые атомно-силовые микроскопы, применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м, и устанавливает методику их калибровки с использованием рельефных мер по ГОСТ Р 8.628 и ГОСТ Р 8.629.