| ГОСТ 4.64-80 действующий Система показателей качества продукции. Полупроводниковые материалы. Номенклатура показателей : 30.06.1981 |
| ГОСТ 2169-69 действующий Кремний технический. Технические условия : 30.06.1970 |
| ГОСТ 19014.0-73 действующий Кремний кристаллический. Общие требования к методам химического анализа : 01.01.1975 |
| ГОСТ 19014.1-73 действующий Кремний кристаллический. Методы определения алюминия : 01.01.1975 |
| ГОСТ 19014.2-73 действующий Кремний кристаллический. Методы определения железа : 01.01.1975 |
| ГОСТ 19014.3-73 действующий Кремний кристаллический. Методы определения кальция : 01.01.1975 |
| ГОСТ 19014.4-73 действующий Кремний кристаллический. Методы определения титана : 01.01.1975 |
| ГОСТ 19658-81 действующий Кремний монокристаллический в слитках. Технические условия : 01.01.1983 |
| ГОСТ 26239.0-84 действующий Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Общие требования к методам анализа : 01.01.1986 |
| ГОСТ 26239.1-84 действующий Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Метод определения примесей : 01.01.1986 |
| ГОСТ 26239.2-84 действующий Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Методы определения бора : 01.01.1986 |
| ГОСТ 26239.3-84 действующий Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Методы определения фосфора : 01.01.1986 |
| ГОСТ 26239.5-84 действующий Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей : 01.01.1986 |
| ГОСТ 26239.6-84 действующий Кремний четыреххлористый. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана, тетрахлорида кремния, 1,3,3,3-тетрахлордисилоксана, 1,1,3,3-тетрахлордисилоксана, пентахлордисилоксана, гексахлордисилоксана, гексахлордисилана : 01.01.1986 |
| ГОСТ 26239.7-84 действующий Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота : 01.01.1986 |